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j6 ’7 摘 要 T,e 本论文引见了电子束缩小投影机标识表记标帜信号检测及瞄准手艺的相关系统 设想、流程设想、算法设想等，给出了尝试数据和成果，实现了3o为45nm的 检测精度。 在电子束缩小投影系统瞄准手艺的道理尝试中，引见了电子束缩小投影 机瞄准系统的形成及道理，阐述了数字处置手艺在瞄准系统中的使用，以及 瞄准数据的发生及数字处置的软件设想，并给呈现实测试成果。道理尝试验证了 利用数字信号处置手艺处置背散射电子 BSE 信号的可行性。 尝试中设想出用于电子束缩小投影机的标识表记标帜瞄准模仿软件，采用多边形 面积变化来暗示背散射信号幅值的变化。操纵有向环计较多边形面积，并模仿出 标识表记标帜瞄准的背散射信号，同时阐发了分歧标识表记标帜图形所发生的BSE信号的特点， 设想出合用于缩小投影系统的掩模图形及响应的标识表记标帜图形。 ／在缩小投影电子束机上完成了瞄准标识表记标帜反复检测精度的研究，检测系统 中利用了四象限的背散射电子检测器，提高了信号的信噪比，检测精度达到3o 45 tim，制造了用于拼接的掩模图形及响应的标识表记标帜图形，为拼接尝试作了必然的 预备。p 【环节字】 电子束缩小投影机，信号检测，瞄准手艺，数字处置手艺，模仿软件，标识表记标帜 图形设想 The ResearchOf Mark Detection Signal And Alignment Technology UsedIn ElectronBeam High_。energyProjection
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